用碳分子筛（CMS）制氮主要是基于氧和氮在碳分子筛中的扩散速率不同，在0.7-1.0Mpa压力下,即氧在碳分子筛表面的扩散速度大于氮的扩散速度，使碳分子筛优先吸附氧，而氮大部分富集于不吸附相中。碳分子筛本身具有加压时对氧的吸附容量增加，减压时对氧的吸附量减少的特性。利用这种特性采用变压吸附法进行氧、氮分离。从而得到99% ～99.99%的氮气。变压吸附制氮机采用双吸附塔并联交替进行吸附产氮，减压再生，实现空气的氮氧分离，连续产氮。